初的循环水冷却是在水池中进行的，但随着工厂的展开，人们发现水池内水的冷却速度不符合冷凝汽器制冷的要求。于是在池中树立木塔，塔内有交错的木板，由此发生满意的蒸腾冷却，使循环水温度低约19.4℃。木塔的出现提高了水池的冷却能力。
在实践中，人们逐渐认识到，冷却的表面面积的增加，对冷却塔的冷却作用的积极影响，并能有用增加散热面积，所以有一些前期的冷却塔填料开端出现。塔内的横向和笔直板塔可以被认为是早的冷却塔填料方法。
与冷却塔的运用和冷却池比较，具有占地面积小的长处，冷却能力强，受环境影响低的特色，所以电厂冷却塔的运用迅速展开。在冷却塔的核心部分——填料，有了很快的展开。通过喷溅池的影响，填料冷却塔是前期的填料都是喷溅型的——循环水和填料碰击构成小水滴，然后增加了散热和周围空气的接触面积。
20世纪6o时代出现了膜式填料——循环水首要是以在填料上构成水膜的方法进行散热。随后还出现了点滴薄膜式填料。在半个多世纪的展开，冷却塔填料首要以这些类型的方法为根底，依据不同需求进行优化。
